HORIBA/堀场 质量流量控制器（MFC）
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

HORIBA/堀场 质量流量控制器（MFC）
HORIBA/堀场 质量流量控制器（MFC）

一、核心工作原理

1. 气体分流，小部分流经传感器（热毛细管）；

2. 传感器检测温差信号，换算为质量流量；

3. 控制电路对比设定值与反馈值，驱动压电阀调节开度；

4. 实现不受温压波动影响的精准流量控制。

二、主力产品系列

1. SEC-N100 系列（通用标准型）

• 流量范围：10 SCCM ~ 1000 SLM（N₂当量）。

• 精度：±1.0% 设定点（≥5% 流量）。

• 响应时间：≤1 秒（T98）。

• 通信：模拟 / 数字、EtherCAT、DeviceNet、PROFIBUS 等。

• 特点：多气体 / 多量程，紧凑型设计，适配多数工业场景。

2. SEC-Z700S 系列（压力补偿型）

• 核心优势：内置压力传感器，实时压力补偿，抗上下游压力波动。

• 精度：±1.0% 设定点，重复性≤±0.15% 设定点。

• 材质：SUS316L + 金属隔膜，超洁净、低泄漏。

• 应用：半导体制程、真空镀膜、多腔室气体系统。

3. D700 系列（精密型）

• D700WR（宽量程压力不敏感）：0.1–100% F.S. 控制，压力突变 70kPa/s 时流量偏差＜0.1% S.P.。

• D700UF（微流量型）：最小流量 0.025 SCCM，分辨率 0.001 SCCM，适合微量气体控制。

• 特点：CIP 自清洁、MEMS 传感芯片、温控恒流源，稳定性与寿命优异。

4. E40V/E50V 系列（经济型大流量）

• 流量范围：大流量（最高可达数百 SLM）。

• 特点：自动关阀（断电保护）、高速应答、性价比高，适配实验与一般工业场景。

三、核心技术参数（典型值）

四、关键特点

1. 高精度与稳定性：直接测质量流量，不受温压影响；压力补偿型号抗波动能力。

2. 高速响应：压电阀 + 高速传感器，≤1 秒稳定，适配快速制程切换。

3. 超洁净低泄漏：全金属密封、电解抛光内壁，泄漏率极低，满足半导体 / 高纯气体需求。

4. 多气体 / 多量程：单台可切换多种气体与量程，降低设备成本。

5. 丰富通信：支持主流工业总线，易集成自动化系统。

6. 安全可靠：断电自动关阀，防泄漏；长寿命设计，维护成本低。

五、典型应用

• 半导体：刻蚀、沉积、扩散、离子注入等制程气体控制。

• 光伏 / LED：MOCVD、PECVD、溅射设备的工艺气体配比。

• 化工 / 新能源：反应釜气体进料、燃料电池测试、特种气体输送。

• 工业 / 科研：真空镀膜、热处理、气体分析、实验室精密配气。

六、选型要点

1. 流量范围：按实际最大流量选，优先常用流量在 20%–80% F.S. 区间。

2. 气体类型：确认介质（腐蚀性 / 高纯 / 易燃），匹配材质与标定。

3. 精度需求：半导体选 Z700S/D700，一般工业选 N100，预算有限选 E40V/E50V。

4. 通信接口：匹配现有控制系统（EtherCAT / 模拟量等）。

5. 压力条件：压力波动大时优先压力补偿型（Z700S/D700WR）