SATOVAC/佐藤真空 直联式油旋片真空泵
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SATOVAC/佐藤真空 直联式油旋片真空泵
SATOVAC/佐藤真空 直联式油旋片真空泵
佐藤真空（SATOVAC/PHIL）DW 系列 直联式双级油旋片真空泵

一、核心型号与关键参数（50/60Hz）

二、核心技术与结构

• 双级旋片压缩：两级转子串联，极限真空达6.7×10⁻² Pa，比单级泵高 1 个数量级，满足高真空制程。

• 电机直联驱动：无皮带，结构紧凑（体积为皮带泵的 2/3）、振动低、噪音≤62 dB (A)，支持 24h 连续运行。

• 风冷自然散热：无需冷却水，安装灵活，适配实验室与工业现场。

• 油雾分离 + 防逆流：标配高效油雾过滤器，排气清洁；停电自动防逆流，防止泵油倒灌污染真空腔。

• 耐腐蚀可选：DW-C 型（Clean Spec），内部特殊涂层，适配轻度腐蚀气体（如卤素、溶剂蒸汽）。

三、产品优势（工业级耐用 + 维护友好）

• ✅ 高效节能：直联传动效率 100%，功耗比皮带泵低 20%+；高转速设计，抽速提升 20%+。

• ✅ 维护便捷：

• 大型透明油位窗：直观观察油量，避免缺油运行。

• 一键式放油阀：换油便捷，无需拆泵。

• 可拆卸舱口：内部检修方便，降低维护成本。

• ✅ 稳定可靠：强化泵体、重载轴承、动平衡优化，支持 24h×7 天连续工业运行，耐粉尘、水汽、溶剂蒸汽（配合气镇阀）。

• ✅ 适配性强：标准KF25/VG 法兰进气接口，兼容主流真空管路；支持单相 100V/220V、三相 200V/380V宽电压，*通用。

四、典型应用场景

• 半导体 / 电子：PVD 溅射、蒸镀、Load Lock 前级、电子束焊接、芯片封装、真空烘烤。

• 科研 / 分析：质谱仪、电镜、真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、手套箱。

• 工业制程：真空蒸馏、浓缩、树脂脱泡、真空热处理、大型真空炉、真空包装、注塑脱气。

• 新能源：锂电池真空干燥、电芯批量脱气、储能设备真空处理。