EBARA华南一级代理 干式真空泵
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EBARA华南一级代理 干式真空泵
EBARA华南一级代理 干式真空泵

• 小流量（轻气体专用）：ESA15‑D、ESA25‑D、ESA25XW、ESA70W (‑D)、ESA80W‑HDF、ESA100W，抽速1,400–10,000 L/min，适配 MO‑CVD、氢气 / 氦气等轻气体场景。

• 大流量（大腔室专用）：ESA200W、ESA300W、ESA500W、ESA700W，抽速20,000–80,000 L/min，适配 LCD 溅射、光伏、大型负载锁 / 真空干燥。

• 类型：两级主泵 + 罗茨增压结构，真空侧无油；主泵采用NiResist 耐蚀铸铁，标配N₂吹扫。

二、核心特点

1. 轻气体高效排气：专用转子型线，氢气抽速比普通干泵高 30%+，适配 MO‑CVD 等大流量氢气氛制程。

2. 大腔室高速粗抽：大抽速 + 高压缩比，可快速将大型腔体从大气压抽至1 Pa 级，显著缩短节拍。

3. 无油洁净 + 耐腐长寿命：真空侧无油污染；主泵NiResist 耐蚀铸铁，标配N₂吹扫，可处理微量腐蚀性气体；维护周期 **≥20,000 小时 **。

4. 低噪震 + 智能控制：大型号噪音≤65 dB、震动极低；内置智能怠速 / 变频模式，负载降低时自动降速，节能 30%+；支持远程监控 / 联锁保护。

5. 国际合规 + 易集成：符合CE、SEMI‑S2、NRTL；结构紧凑、底座带减震，适配洁净室与自动化产线。

三、典型应用

• 半导体：MO‑CVD（GaN/LED）、LPCVD/PECVD、刻蚀、负载锁 / 传输腔粗抽。

• 显示 / 光伏：LCD/OLED 溅射、PECVD、大型玻璃基板镀膜、光伏电池制程。

• 工业 / 科研：大型真空干燥、太空模拟舱、加速器、冶金 / 热处理高真空排气。