Edwards/爱德华 优势品牌
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Edwards（爱德华）iQDP40 干式真空泵

一、型号释义

• iQ：智能干式泵系列（Integrated Intelligence）

• DP：Dry Pump 干式真空泵

• 40：规格代号（对应抽速与真空等级）

二、核心特点

• 无油超高洁净：泵腔无油 / 无密封液，零油雾返流，适配半导体、医疗、分析仪器等高洁净场景。

• 高真空大抽速：极限真空可达2.5×10⁻² mbar（25 mTorr），峰值抽速235 m³/h（60Hz），满足中高真空制程需求。

• 智能集成控制：内置智能电控系统，实时监控泵状态、温度、电流，支持远程通讯与故障自诊断，可匹配半导体设备协议。

• 耐腐蚀强适配性：泵腔材质适配腐蚀性气体 / 水汽，支持最大 50SLM 氮气吹扫，应对刻蚀、沉积等严苛制程。

• 低噪稳定长寿命：多级螺杆 / 爪式结构，运行平稳、噪音低；24 小时连续运行设计，维护周期长、成本低。

• 紧凑型易集成：一体式机架带脚轮，结构紧凑，安装移动便捷，适配设备嵌入或独立真空站。

三、技术参数（概要）

四、典型应用

• 半导体制造：晶圆负载锁、溅射、蒸发、离子注入、刻蚀、CVD/PVD 制程真空。

• 光伏 / 显示：太阳能电池镀膜、OLED/LCD 面板真空制程、真空封装。

• 精密工业：真空镀膜、真空焊接、真空热处理、检漏设备、质谱 / 分析仪器。

• 科研 / 实验室：同步辐射、表面科学、真空腔体、高真空实验平台。