EBARA现货

一、产品概述

EV-A10 是日本EBARA 荏原 EV-A 系列风冷无油干式真空泵，采用多级罗茨干式结构，无需冷却水，仅接入电源即可工作。主打大气段抽气性能优异，适合频繁从大气启动抽真空工况；无油洁净真空，广泛用于泛半导体、锂电、科研实验室、真空镀膜等轻负载洁净真空场景。

二、核心特点

1. 空冷结构，部署极简不需要冷却水、冷水机组，现场只需要供电；机身紧凑，标配万向脚轮，方便移动、机柜内置。

2. 无油洁净真空泵腔内部无润滑油，杜绝油蒸汽回流污染腔体，满足半导体、分析仪器洁净要求。

3. 大气抽气性能突出在大气压附近抽速表现优秀，适配 Load-lock 频繁破空、反复抽气工艺。

4. 50/60Hz 性能一致不同电网频率下抽速、真空指标相同，全球工况通用。

5. 低噪音、低震动噪音≤58 dB (A)，适合实验室、洁净厂房、检测设备配套。

6. 水汽耐受能力强标配气镇阀，水蒸气处理能力500 g/h，可应对真空干燥、冻干等含水汽工艺。

7. 通讯与保护自带控制面板、RS232 通讯接口，支持上位机联动；具备过载、超温、风扇故障连锁保护。

8. 合规认证支持 CE、SEMI-S2、NRTL 认证，满足半导体工厂规范。